シリコン膜の堆積段階と機械的強度
第一段階では、シリコン膜は硬くてもぐらつきのある柱状構造となる。第二段階では、柱同士が上部で接触してアーチ状の構造を形成し、アーチ作用により強い構造となる。第三段階では、シリコン原子がさらに堆積することにより、スポンジ状の構造になる。赤色の破線部分は、力が加わることによってシリコンが変形する様子を表している。
第一段階では、シリコン膜は硬くてもぐらつきのある柱状構造となる。第二段階では、柱同士が上部で接触してアーチ状の構造を形成し、アーチ作用により強い構造となる。第三段階では、シリコン原子がさらに堆積することにより、スポンジ状の構造になる。赤色の破線部分は、力が加わることによってシリコンが変形する様子を表している。
日付:
2021年2月3日
出典:
パナジオティス・グラマティコプロス博士（元OISTナノ粒子技術研究ユニットおよびチ ュ ー リ ッ ヒ 工 科 大 学Particle Technology Laboratory）
Copyright OIST (Okinawa Institute of Science and Technology Graduate University, 沖縄科学技術大学院大学). Creative Commons Attribution 4.0 International License (CC BY 4.0).
シェア：
