OISTの新竹積教授が発表した革新的なEUVリソグラフィーとその利点
左が従来型、右が今回発表した新型EUVリソグラフィー。従来型に比べて非常にシンプルな設計となることにより、高い安定性とメンテナンス性、高いコントラスト、マスク3D効果の減少など様々な利点が生まれる。また、わずか20Wの 小型EUV光源で動作するため、消費電力がおよ1MWの従来技術に比べ、消費電力が100kW以下と10分の1となる。Credit:新竹積(OIST)
Date:
26 July 2024
Credit:
新竹積 (OIST)
Copyright OIST (Okinawa Institute of Science and Technology Graduate University, 沖縄科学技術大学院大学). Creative Commons Attribution 4.0 International License (CC BY 4.0).
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